雷射扫描缺陷图谱仪

简要描述:激光扫描缺陷成像仪是激光束感应电流(LBIC)测试的升级版本。它利用波长能量大于半导体带隙的激光束照射半导体,产生电子空穴对。通过快速扫描样品表面,获得揭示内部电流变化的图像分布,从而分析各种缺陷分布。这有助于分析样品制备的质量并有助于工艺改进。

  • 产品型号:LSD4
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-04-02
  • 访  问  量: 98

详细介绍

品牌Enlitech产地类别进口
应用领域能源价格区间面议
测量模式咨询光焱科技专家

特征

扫描光生电流的分布

扫描光电压分布

扫描开路电压和短路电流的分布

分析表面污染

分析短路区域的 分布

识别和分析微裂纹区域

分析少数载子扩散长度的分布(选用功能)

应用

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OPV光响应电流分布图

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分辨率为 50 µm 的非均匀性分析

螢幕擷取畫面-2024-03-24-104655.png

母线/栅极纵横比检测(横截面分析)

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高重复性(6次重复)

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螢幕擷取畫面-2024-03-24-105428.png

                                        螢幕擷取畫面-2024-03-24-105516.png

规格

项目参数说明。
功能A。利用能量高于半导体带隙的波长激光束在半导体中产生电子空穴对,探索耗尽区对内部电流变化的影响,了解和分析各种缺陷分布,作为工艺改进的方向。

b.能够扫描样品表面光生电流的分布。

C。能够扫描样品表面光电压的分布。

d.能够扫描开路电压和短路电流的分布。

e.能够分析表面污染。

F。能够分析短路区域的分布。

G。能够识别和分析微裂纹区域。

H。能够分析少数载流子扩散长度的分布(可选)。
激励源
405 ±10nm 激光
520 ±10nm 激光
635 ±10nm 激光
830 ±10nm 激光
扫描区域≧100mm×100mm
激光光斑尺寸接近TEM00模式点
测绘分辨率
A。扫描分辨率 ≤ 50 µm
b.扫描分辨率可通过软件设置
测绘时间<4分钟(100mm×100mm,分辨率50um)
方面60厘米*60厘米*100厘米
软件A。 LBIC 3D 可视化
b. 2D 横截面分析(电极纵横比)
c.光电流响应分布分析(与长波长激光源结合)
d.数据保存和导出功能






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