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详细介绍
| 品牌 | Enlitech | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 能源 | 价格区间 | 面议 |
| 测量模式 | 咨询光焱科技专家 |
激光扫描缺陷成像仪是激光束感应电流（LBIC）测试的升级版本。 它利用波长能量大于半导体能隙的激光光束照射半导体，产生电子-电洞对。 透过快速扫描样品表面，获得揭示内部电流变化的影像分布，以分析各种缺陷分布。 这有助于分析样品制备的质量，并有助于制程改进。
●扫描光生电流的分布
●扫描光电压分布
●扫描开路电压和短路电流的分布
●分析表面污染
●分析短路区域的 分布
●识别和分析微裂纹区域
●分析少数载子扩散长度的分布（选用功能）
| 项目 | 参数说明。 |
|---|---|
| 功能 | A。利用能量高于半导体带隙的波长激光束在半导体中产生电子空穴对，探索耗尽区对内部电流变化的影响，了解和分析各种缺陷分布，作为工艺改进的方向。 b.能够扫描样品表面光生电流的分布。 C。能够扫描样品表面光电压的分布。 d.能够扫描开路电压和短路电流的分布。 e.能够分析表面污染。 F。能够分析短路区域的分布。 G。能够识别和分析微裂纹区域。 H。能够分析少数载流子扩散长度的分布（可选）。 |
| 激励源 | 405 ±10nm 激光 520 ±10nm 激光 635 ±10nm 激光 830 ±10nm 激光 |
| 扫描区域 | ≧100mm×100mm |
| 激光光斑尺寸 | 接近TEM00模式点 |
| 测绘分辨率 | A。扫描分辨率 ≤ 50 µm b.扫描分辨率可通过软件设置 |
| 测绘时间 | <4分钟（100mm×100mm，分辨率50um） |
| 方面 | 60厘米*60厘米*100厘米 |
| 软件 | A。 LBIC 3D 可视化 b． 2D 横截面分析（电极纵横比） c．光电流响应分布分析（与长波长激光源结合） d．数据保存和导出功能 |
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